1、真空泵的極限壓強 
泵的極限壓強單位是PA，是指泵在入口處裝有標準試驗罩並按規定條件工作，在不引入氣體(ti) 正常工作的情況下，趨向穩定的zui低壓強。
2、真空泵的抽氣速率 
泵的抽氣速率單位是M3/S或L/S，是指泵裝有標準試驗罩，並按規定條件工作時，從(cong) 試驗罩流過的氣體(ti) 流量與(yu) 在試驗罩位置測得的平衡壓強之比。簡稱泵的抽速。
3、真空泵的抽氣量 
真空泵的抽氣量單位是PA M3/S或PA L/S。是指泵入口的氣體(ti) 流量。
4、真空泵的起動壓強 
真空泵的起動壓強單位為(wei) PA，它是指泵無損壞起動並有抽氣作用時的壓強。
5、泵的前級壓強 
真空泵的前級壓強單位是PA，它是指排氣壓強低於(yu) 一個(ge) 大氣壓的真空泵的出口壓強。
6、真空泵的zui大前級壓強 
真空泵口zui大前級壓強單位是PA，它是指超過了能使泵損壞的前級壓強。
7、真空泵的zui大工作壓強 
真空泵的zui大工作壓強單位是PA，它是指對應zui大抽氣量的入口壓強。在此壓強下，泵能連續工作而不惡化或損壞。
8、壓縮比 
壓縮比是指泵對給定氣體(ti) 的出口壓強與(yu) 入口壓強之比。
9、何氏係數 
泵抽氣通道麵積上的實際抽速與(yu) 該處按分子瀉流計算的理論抽速之比。
10、抽速係數 
泵的實際抽速與(yu) 泵入口處按分子瀉流計算的理論抽速之比。
11、返流率 
泵的返流率單位是G/CM2.S。它是指泵按規定條件工作時，通過泵入口單位麵積的泵流質量流率。
12、水蒸氣允許量 
水蒸氣的允許量單位是KG/H，它是指泵在正常環境條件下，氣鎮泵在連續工作時能抽除的水蒸氣質量流量。
13、zui大允許水蒸氣入口壓強 
zui大允許水蒸氣入口壓強單位是PA 。它是指在正常環境條件下，氣鎮泵在連續工作時所能抽除的水蒸氣的zui高入口壓強。